製品へのホコリ付着防止
エアパーティクルモニタ
ーガラス基板搬送ロボットへの導入事例ー

搬送ロボットにエアパーティクルモニタを設置し、搬送時の粉塵濃度を常時モニタリング。微量なホコリも分かるようになり、検出時はすぐにラインを停止させることが可能になりました。

レベルスイッチと二重監視で安全性や信頼性が向上します。

ディストリビュータ、アイソレータ、警報設定器を一つで賄います。

インターネット経由で遠隔地から調整するサービスです。